鎢燈絲掃描電鏡SEM是一款綜合能力優秀的通用型立式鎢燈絲掃描電

鏡。電子槍雙陽極結構，保證了低電壓下的分辨率和

更好的圖像信噪比。另外有諸多的可選配附件選擇，使得

SEM3200 成為了一款應用廣泛的綜合分析儀器。

鎢燈絲掃描電鏡SEM

低電壓下智能輔助消像散* 雙陽極結構預對中鎢燈絲* 支持低真空模式豐富的擴展能力

中間陽極處于韋氏帽和陽極之間，在低壓下，可提高電子束的拔出效率，分辨率可提升10%，信噪比可提升30%。

碳材料樣品，低電壓下，穿透深度較小，可以獲取樣品表面真實形貌，細節更豐富。

高分子纖維類樣品，高壓會對樣品存在損傷，低電壓還原無損表面細節。

工作原理

• 電子發射：電子槍內的鎢燈絲在高電壓作用下被加熱至熱激發狀態，發射出電子

• 電子束形成：發射出的電子經過電磁透鏡系統的加速和聚焦，形成細小的電子束

• 電子束掃描：電子束在掃描線圈產生的磁場控制下，在樣品表面逐點掃描

• 信號產生與收集：電子束與樣品表面相互作用，激發出二次電子、背散射電子等物理信號，這些信號被探測器收集并放大，最終調制成圖像

• 材料科學：分析材料表面形貌、晶體結構和成分分布

• 生物科學：觀察細胞、組織和微生物的形態結構

• 納米技術：研究納米顆粒的形貌和尺寸分布

• 半導體工業：檢測半導體器件的表面缺陷和線寬尺寸

• 環境科學：分析環境污染物的形態和成分