Thermo Scientific Axia ChemiSEM

--掃描電子顯微鏡

成像即刻融合成分信息

全新一代Axia ChemiSEM掃描電鏡其成像平臺(tái)即時(shí)可用，且集成獨(dú)特的實(shí)時(shí)定量能譜面分析功能，專為快速分析而設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單，新手用戶也可輕松操縱。

實(shí)時(shí)定量元素面分析

Thermo Scienti?c™ Axia™ ChemiSEM 引入一種全新的能譜分析概念，采用獨(dú)特方法進(jìn)行樣品成分信息的采集、處理和展示。傳統(tǒng)能譜會(huì)利用二次電子或背散射電子信息，卻不利用其圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，因而數(shù)據(jù)獲取速度較慢，而且圖像分辨率相對(duì)粗糙。相比而言，Axia ChemiSEM 采集數(shù)據(jù)所用的是同一掃描發(fā)生器，將掃描電鏡圖像與能譜圖像對(duì)中，因而圖像更加銳利，圖像噪音更少。另外，此外，脈沖處理采用自適應(yīng)脈沖整形技術(shù)，確保各種條件下均能獲得可靠數(shù)據(jù)。

元素分布圖通過定量算法形成，因此，所顯示的成分?jǐn)?shù)據(jù)可靠，且結(jié)果中不會(huì)出現(xiàn)重疊峰誤判等。專有的陰影檢測(cè)算法幫助確保信息來自于 檢測(cè)到X射線的區(qū)域。

啟用方便、快速

Axia ChemiSEM 依托優(yōu)良鏡筒技術(shù)，保持系統(tǒng)始終處于優(yōu)良狀態(tài)，可聚焦樣品采集數(shù)據(jù)，隨時(shí)提供高質(zhì)量圖像。系統(tǒng)同時(shí)集成了創(chuàng)新性的交互式用戶指南，幫助用戶充分利用系統(tǒng)的各項(xiàng)高級(jí)功能。能譜集成在用戶界面中，可輕松完成成分分析，從而大程度提高工作效率。

掃描電子顯微鏡主要優(yōu)勢(shì)

實(shí)時(shí)成分信息：同步掃描獲取多種信號(hào)時(shí)執(zhí)行能譜分析，實(shí)時(shí)檢測(cè)形 貌與元素信息 成像平臺(tái)即時(shí)可用：只需專注數(shù)據(jù)采集，不必憂慮電鏡條件設(shè)置

更快獲得數(shù)據(jù)：多種成像和掃描策略，優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng) 處理能力

靈活的樣品臺(tái)設(shè)計(jì)：全開門式設(shè)計(jì)，大樣品可輕松放入樣品倉內(nèi)；樣品臺(tái)可容納重達(dá) 10 kg 的樣品

獨(dú)特的成像性能：提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應(yīng)

樣品加載靈活

Axia ChemiSEM 采用全開門式設(shè)計(jì)，系統(tǒng)耐用性和靈活性更高，可以加載大而重(重達(dá)10 kg)的樣品，從而節(jié)省樣品制備時(shí)間。

提供獨(dú)特的成像性能

Axia ChemiSEM 全方面性能表現(xiàn)出色，可表征各種不同類型材料，提供全面的信息。低真空模式下壓力可達(dá)150Pa，能夠分析廣泛類型的樣品。在分析不導(dǎo)電樣品方面，低真空模式不僅可以消除荷電效應(yīng)，還可以增強(qiáng)材料襯度，并支持采用較大束流進(jìn)行成分分析。

多種軟件及檢測(cè)功能滿足高級(jí)應(yīng)用需求

Axia ChemiSEM 可搭載多款 Thermo Scienti?c 掃描電鏡軟件實(shí)現(xiàn)多種自動(dòng)化功能。同時(shí)，Thermo Scienti?c AutoScript ™ 軟件可提供定制化流程開發(fā)。系統(tǒng)也可選配耐用且易用的陰極熒光探測(cè)器。

維護(hù)簡(jiǎn)單

Axia ChemiSEM 燈絲更換十分簡(jiǎn)單，用戶可自行輕松完成。系統(tǒng)采用簡(jiǎn)約化設(shè)計(jì)，維護(hù)快速，可保持長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行。

技術(shù)亮點(diǎn)

電子光學(xué)

• 具有四陽極源發(fā)射幾何結(jié)構(gòu)的高性能熱發(fā)射 SEM 鏡筒

• 穩(wěn)定的電子對(duì)中鏡筒，配置固定物鏡光闌，易于操作

• 燈絲更換全自動(dòng)對(duì)中程序

• 45°物鏡幾何結(jié)構(gòu)

• 配備“穿過透鏡"的壓差真空系統(tǒng)，降低電子束散射裙邊效應(yīng)，在低真空、小束流下實(shí)現(xiàn)最準(zhǔn)確分析及最高分辨率成像電子束分辨率

• 高真空成像

— 3.0 nm @ 30 kV (SE)

— 8.0 nm @ 3 kV (SE)

• 高真空下電子束減速模式 — 7.0 nm @ 3 kV (電子束減速模式* + 背散射電子探測(cè)器)

• 低真空成像

— 3.0nm @ 30 kV (SE)

— 4.0nm @ 30 kV (BSE)

— 10nm @ 3 kV (SE)電子束參數(shù)

• 電子束流范圍：最大2 μA，連續(xù)可調(diào)

• 加速電壓范圍：200V ~ 30 kV

• 放大倍數(shù)：5 ~ 1,000,000× (寶麗來倍數(shù)) 樣品倉

• 內(nèi)寬：280 mm

• 分析工作距離：10 mm

• 端口：10個(gè)

• EDS 取出角：35°

• 可安裝正對(duì)的雙能譜探測(cè)器

• 共面 EDS/EBSD 與樣品臺(tái)傾斜軸垂直

探測(cè)器

利用探測(cè)器或探測(cè)器分割部分的任意組合，可同時(shí)檢測(cè)多達(dá)四個(gè)信 號(hào)：

• ETD：Everhart-Thornley 二次電子探測(cè)器

• 可伸縮背散射探測(cè)器

• TrueSight X EDS 探測(cè)器，固體角 13 mSr, 分辨率 129 eV；可選配升 級(jí)成 TrueSight LX - 38 mSr, 132 eV

• 低真空二次電子探測(cè)器 (LVD)，標(biāo)配用于低真空模式

• 紅外CCD 相機(jī)

• Thermo Scienti?c Nav-Cam™ 導(dǎo)航相機(jī)

• 陰極熒光探測(cè)器，集成在用戶界面中用于采集真彩圖像*

• 電流測(cè)量*

• 支持第三方探測(cè)器

真空系統(tǒng)

• 1 × 84 升/秒 TMP, 1 × PVP

• 獨(dú)特的“穿過透鏡"壓差真空系統(tǒng)

• 抽真空時(shí)間：高真空 ≤2 分鐘，低真空 ≤4.5 分鐘

樣品托

• 標(biāo)準(zhǔn)多功能樣品托，以獨(dú)特方式直接安裝到樣品臺(tái)上，可容納 7 個(gè)標(biāo) 準(zhǔn)樣品托架(φ12mm)，樣品安裝無需工具

• 單樣品托

樣品臺(tái)

• 類型：五軸驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)

• XY行程：120 x 120 mm

• Z 軸驅(qū)動(dòng)行程：55 mm

• 旋轉(zhuǎn)：n×360°

• 傾斜：-15° / +90°

• 最大樣品高度： — 分析工作距離 (10 mm) 下 72 mm，無樣品托 — 分析工作距離 (10 mm) 下 128 mm，拆下ZTR軸

• 最大樣品重量： 任意樣品臺(tái)位置處為 500 g 移除ZTR軸時(shí)最大 10 kg

系統(tǒng)控制

• 64位GUI(Windows 10)、鍵盤、光學(xué)鼠標(biāo)

• 24英寸LCD顯示器、WUXGA 1920 x 1920(第二臺(tái)顯示器可選配)

• 定制化的圖形用戶界面，可同時(shí)激活多達(dá)4個(gè)視圖

• 導(dǎo)航蒙太奇

• 撤銷(Undo)/重做(Redo)功能

• 基本操作及應(yīng)用用戶指導(dǎo)

圖像處理器

• 駐留時(shí)間范圍：50 納秒 ~ 25 毫秒/像素

• 最高 6144 × 4096 像素

• 文件類型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、JPEG 或 BMP

• 單幀或四幀圖像顯示

• SmartSCAN™ (256 幀幀平均或幀積分、線積分和線平均、跨行掃描)

• DCFI (漂移補(bǔ)償幀積分)

附件